X射线光电子能谱仪-东莞理工学院分析测试中心

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￥6499000

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仪器介绍
(40)使用评价

固定资产编号：

19018363

中文名称：

X射线光电子能谱仪

英文名称：

型号规格：

ESCALAB XI

生产厂商：

产地国别：

(203)捷克

生产日期：

购买日期：

2019/12/8

仪器价值：

6499000

收费标准：

点扫：20元/元素刻蚀：25元/5nm 价带谱：25元/样俄歇谱：25元/元素 UPS：120元/样角分辨：100元/转角其他测试按时间收费：500元/小时

仪器地址：

经管楼4B104-1

设备预约管理员：

朱枝胜

联系电话：

预约状态：

正常

院内可预约时间段：

院外可预约时间段：

详见预约页面

实验材料或方法特别要求说明：

1、样品充分干燥、无磁性、不挥发、无毒、无辐射、无腐蚀性； 2、粉末样品至少10mg，块状样品长宽≤5mm，高≤3mm； 3、实验内容写明样品个数、测试元素。

详细介绍：

◆ 主要性能参数： 1能量分析器半径不大于150mm；能量扫描范围不低于0～5000eV；通过能范围应不小于1～400eV,并可连续调节，调节步长不大于1eV。 2.探测器同时配有多电子倍增器和128通道二维微通道板探测器；2XPS成像，可实现从小于6μm成像图的区域内获取能谱谱图微聚焦单色化AlX射线源，束斑尺寸可在20μm--900μm之间连续可调，调节步长小于10μm；最小能量分辨率不大于0.43eV，大面积时对Ag3d5/2峰能量分辨≤0.43eV时，光源功率不大于300W条件下，计数率强度高于80Kcps。 3成像XPS 单离子模式；刻蚀能量—500eV~4keV连续可调； 3.11.UPS紫外光电子能谱；光源：He紫外光源；能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率应不大于100meV；灵敏度：能量分辨率小于100meV时，灵敏度（Ag4d）≥1,000,000cps；HeII工作时，HeII/HeI强度比应高于1/2； ◆ 主要用途： X射线光电子能谱技术（XPS）是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，而且是和俄歇电子能谱技术（AES）常常配合使用的分析技术。由于它可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息。它在分析电子材料时，不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。另外，因为入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小。 ◆ 设备特点： 1.系统配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的离子束中和源。 2. 配置双束电荷中和系统，同时具有电子中和和离子中和功能。 3. 系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪的控制。

附件：

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评价时间： 2024/9/5 21:35:16


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