微纳平台简介

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微纳平台拥有先进齐全的微纳加工及测试设备:快速扫描纳米红外光谱仪,纳米粒度分析仪,原子吸收光谱仪,仪器化纳米压入测试系统等,可满足微纳样品的基本加工工艺和表征要求,支持校内外师生和研究人员在多领域、交叉学科开展前沿科学研究和技术开发。


流变仪
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差示扫描量热仪(DSC)
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纳米粒度分析仪
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半导体参数分析仪
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LED晶圆电致发光测试系统
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