双靶离子溅射仪-东莞理工学院分析测试中心

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￥99400

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仪器介绍
(1)使用评价

固定资产编号：

2025689699

中文名称：

双靶离子溅射仪

英文名称：

lon Sputter Coater

型号规格：

J20

生产厂商：

速普仪器

产地国别：

中国

生产日期：

购买日期：

2025/10/10

仪器价值：

99400

收费标准：

无其他收费

仪器地址：

经管楼4B105

设备预约管理员：

张文丛刘钟薇

联系电话：

预约状态：

正常

院内可预约时间段：

院外可预约时间段：

工作日上班时间

实验材料或方法特别要求说明：

1. 样品台边缘不要超出圆台； 2. 样品旋转需要手动调整，具体请见操作视频； 3. 粉末样品要细、薄、少，用地上的空压机吹浮尘。

详细介绍：

真空性能

1.极限真空:<1 Pa;

2.工作气压范围:4-10Pa;

3.抽真空时间:<3min（至工作气压）;

镀膜效率

4.溅射模式:双靶独立/共溅射/顺序溅射;

5.样品台均匀性:旋转（0-60 RPM）+ 倾转（0-40°）

能效控制

6.整机功耗:<500W

7.溅射电源控制：恒功率DC，双电源独立输出

溅射效果：

Pt-Au叠层：可以通过颗粒小致密的Pt作为种子层对易损伤样品形成保护且为后续膜层提供成形核点，有助于形成均匀细腻的薄膜且颗粒尺寸不易长大再通过Au提高样品的导电性和信号强度，起到抑制荷电和提高图像质量的双重作用

附件：

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评价时间： 2025/11/18 10:15:18


总分：
服务态度：
响应速度：
测试质量：