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电感耦合等离子体质谱仪
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电解双喷减薄仪
联系人：黄毅 张文丛
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X射线吸收精细结构谱仪
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双靶离子溅射仪
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傅立叶红外光谱仪
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超分辨率显微镜系统
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纳米压痕仪（原位纳米力学测试系统）
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半导体参数分析仪
联系人：肖和盛
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LED晶圆电致发光测试系统
联系人：肖和盛
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原子力显微镜系统
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